AODE 半導(dǎo)體行業(yè)解決方案

助力優(yōu)化半導(dǎo)體材料溫控系統(tǒng)

01 案例介紹

在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時(shí)代，作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基石的半導(dǎo)體材料，隨著人工智能、大數(shù)據(jù)和5G技術(shù)的廣泛應(yīng)用，市場(chǎng)需求持續(xù)增長。在其生產(chǎn)過程中，對(duì)材料溫度的精準(zhǔn)控制要求極其嚴(yán)格，材料的質(zhì)量直接影響到下一道工序。因此，溫控方案至關(guān)重要。

02 痛點(diǎn)

作為半導(dǎo)體材料制造領(lǐng)域的領(lǐng)先企業(yè)，S公司一直致力于通過技術(shù)創(chuàng)新提升產(chǎn)品質(zhì)量。然而，在傳統(tǒng)的蒸汽加熱控溫方式下，S公司面臨著諸多挑戰(zhàn)。

由于無法精確控制反應(yīng)釜內(nèi)物料的溫度，導(dǎo)致產(chǎn)品合格率不達(dá)標(biāo)，原材料浪費(fèi)嚴(yán)重，不僅增加了生產(chǎn)成本，也限制了企業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭力。因此，S公司迫切需要一套全新的溫控解決方案，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料制造過程中的精準(zhǔn)溫度控制，從而提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

03解決方案

奧德憑借在工業(yè)溫控設(shè)備領(lǐng)域深厚的技術(shù)積累和豐富的經(jīng)驗(yàn)，為S公司量身定制了高精度全廠溫控解決方案。

該解決方案涵蓋了從基礎(chǔ)低溫制冷機(jī)組、加熱主機(jī)到TCU溫控單元、超低溫-80℃單元等全系列設(shè)備，能夠滿足S公司不同工藝環(huán)節(jié)的嚴(yán)苛溫度要求。

01 高溫液體智能溫控設(shè)備

溫控范圍為室溫+45℃至180℃。采用加熱和冷卻雙PID動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)控制模式，確保精準(zhǔn)控溫。該設(shè)備還支持TCP遠(yuǎn)程啟停，方便遠(yuǎn)程操作和監(jiān)控。此外，它還具備超溫、電源逆相、電機(jī)過載、介質(zhì)短缺、管路堵塞、壓力異常、排氣保護(hù)等7大安全保護(hù)功能，有效保障設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行。

02 高低溫液體智能溫控設(shè)備

控溫范圍：-40℃ 至 80℃。采用 PLC + 人機(jī)界面的控制方式，操作簡便直觀。電氣箱采用防爆 ExdⅡBT4 設(shè)計(jì)，適用于特殊環(huán)境。并具備 6 項(xiàng)安全保護(hù)功能，確保設(shè)備在高低溫環(huán)境下可靠運(yùn)行。

03 水冷式防爆低溫冷油機(jī)

控溫范圍可達(dá) -80℃ 至 +5℃，滿足超低溫工藝要求。同時(shí)配備多項(xiàng)安全保護(hù)功能，確保設(shè)備在低溫環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。

AODE 溫控系統(tǒng)四大優(yōu)勢(shì)

精準(zhǔn)控溫

AODE 溫控設(shè)備通過動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)反應(yīng)釜內(nèi)物料的溫度，可實(shí)現(xiàn)±0.5℃的高精度控溫，有效解決傳統(tǒng)溫控方式下的溫度偏差問題，確保半導(dǎo)體材料制程的溫度穩(wěn)定性，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和一致性。

高效穩(wěn)定

奧德溫控設(shè)備采用多級(jí)PID控制技術(shù)，并集成多重安全保護(hù)措施，不僅能快速響應(yīng)溫度變化，還能確保設(shè)備長期運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性，有效提升生產(chǎn)效率，減少設(shè)備故障造成的生產(chǎn)中斷和損失。

整體工廠設(shè)計(jì)

奧德溫控解決方案可滿足-80℃至180℃的寬溫需求，適用于半導(dǎo)體制程中各種復(fù)雜工藝和特殊環(huán)境，例如防爆、超低溫等場(chǎng)景，為S公司生產(chǎn)提供全方位的溫度保障。

智能物聯(lián)網(wǎng)

通過TCP遠(yuǎn)程通訊功能，奧德的設(shè)備可實(shí)現(xiàn)集中控制，方便S公司對(duì)生產(chǎn)過程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控和數(shù)據(jù)分析，有利于優(yōu)化生產(chǎn)流程，提升生產(chǎn)管理水平，加速企業(yè)智能化升級(jí)進(jìn)程。

奧德

S公司通過引入奧德高精度全廠溫控解決方案，成功解決了傳統(tǒng)溫控方式帶來的諸多問題，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體材料制造過程中的精準(zhǔn)控溫，顯著提高了產(chǎn)品合格率，減少了原材料浪費(fèi)，有效提升了公司的生產(chǎn)效率和市場(chǎng)競(jìng)爭力。

未來，奧德將繼續(xù)以創(chuàng)新為動(dòng)力，以客戶需求為導(dǎo)向，為更多企業(yè)提供高品質(zhì)的溫控解決方案，助力半導(dǎo)體行業(yè)及其他高端制造業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。