壓鑄行業(yè)
首頁 產(chǎn)品系列 冷水機系列 高精度冷熱循環(huán)半導(dǎo)體專用chiller
水冷型：設(shè)備使用冷卻水散熱，降溫速率快，噪音更低。
風(fēng)冷型：設(shè)備使用風(fēng)機帶走熱量散熱，無廠務(wù)水需求，可自由放置。
智能PID算法，支持分段控溫、自動演算、模糊控制等功能，控溫精度高。
制冷機系統(tǒng)使用熱氣旁通控溫，系統(tǒng)載荷動態(tài)調(diào)節(jié)，節(jié)能高效。
產(chǎn)品系列覆蓋多溫區(qū)，可匹配半導(dǎo)體行業(yè)不同工序。
結(jié)構(gòu)專項優(yōu)化，振動低，噪音小。
具備自動purge功能。
針對冷卻液管路工藝優(yōu)化，泄露風(fēng)險低。
【風(fēng)冷型Chiller】 | |||||
項目 | 單位 | ACSM02AS-5 | ACSM03AS-5 | ACSM05AS-5 | ACSM10AS-5 |
制冷量(10℃) | kW | 5.4 | 8.7 | 13.7 | 30.2 |
壓縮機功率 | kW | 1.6 | 2.3 | 3.1 | 6.3 |
循環(huán)泵功率 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.6 | 0.8 |
風(fēng)機功率 | kW | 0.3 | 0.5 | 1.2 | 2.4 |
總輸入功率 | kW | 2.3 | 3.2 | 4.9 | 9.5 |
運行電流 | A | 5.0 | 6.8 | 11.9 | 21.3 |
供電電源 | 3PH～380V～50Hz（可定制220V） | ||||
循環(huán)介質(zhì) | 去離子水、氟化液等 | ||||
溫控精度 | ℃ | ±0.1 | |||
額定流量 | L/min | 25 | 25 | 40 | 80 |
冷凝器型式 | 高效風(fēng)冷式冷凝器 | ||||
油箱容積 | L | ≥2 | ≥3 | ≥5 | ≥10 |
冷凍進(jìn)出管徑 | Inch | 1.0" | 1.0" | 1.2" | 1.5" |
冷媒 | R410A | ||||
整機重量 | kg | 100.0 | 130.0 | 150.0 | 300.0 |
運行噪音@1m | dB(A) | ≤70 | |||
外形(L*W*H) | cm | 40*60*100 | 40*100*110 | 60*100*120 | 60*100*150 |
【水冷型Chiller】 | |||||
項目 | 單位 | ACSM02WS-5 | ACSM03WS-5 | ACSM05WS-5 | ACSM10WS-5 |
制冷量(10℃) | kW | 5.9 | 9.6 | 14.8 | 31.4 |
壓縮機功率 | kW | 1.6 | 2.3 | 3.1 | 6.3 |
循環(huán)泵功率 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.6 | 0.8 |
總輸入功率 | kW | 2.0 | 2.7 | 3.7 | 7.1 |
運行電流 | A | 4.5 | 6.0 | 8.9 | 17.4 |
供電電源 | 3PH～380V～50Hz（可定制220V） | ||||
循環(huán)介質(zhì) | 去離子水、氟化液等 | ||||
溫控精度 | ℃ | ±0.1 | |||
額定流量 | L/min | 25 | 25 | 40 | 80 |
壓力范圍 | Bar | 0.5～3.0 | 0.5～3.0 | 0.5～3.0 | 0.5～3.0 |
冷凝器型式 | 高效水冷式冷凝器 | ||||
油箱容積 | L | ≥2 | ≥3 | ≥5 | ≥10 |
冷卻水流量 | m3/h | 1.8 | 2.5 | 4.2 | 9.9 |
冷凍進(jìn)出管徑 | Inch | 1.0" | 1.0" | 1.2" | 1.5" |
冷卻進(jìn)出管徑 | Inch | 1.0" | 1.5" | ||
冷媒 | R410A | ||||
整機重量 | kg | 100.0 | 130.0 | 150.0 | 300.0 |
運行噪音@1m | dB(A) | ≤65 | |||
外形(L*W*H) | cm | 40*60*100 | 40*100*110 | 60*100*120 | 60*100*150 |
