高精度冷熱循環(huán)半導體專用chiller
水冷型:設(shè)備使用冷卻水散熱,降溫速率快,噪音更低。
風冷型:設(shè)備使用風機帶走熱量散熱,無廠務(wù)水需求,可自由放置。
智能PID算法,支持分段控溫、自動演算、模糊控制等功能,控溫精度高。
制冷機系統(tǒng)使用熱氣旁通控溫,系統(tǒng)載荷動態(tài)調(diào)節(jié),節(jié)能高效。
產(chǎn)品系列覆蓋多溫區(qū),可匹配半導體行業(yè)不同工序。
結(jié)構(gòu)專項優(yōu)化,振動低,噪音小。
具備自動purge功能。
針對冷卻液管路工藝優(yōu)化,泄露風險低。